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二次イオン質量分析法 第2版の表紙

二次イオン質量分析法 第2版

公益社団法人 日本表面真空学会

出版社
丸善出版
発売日
2025年06月03日頃
ISBN
9784621311356
レビュー
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あらすじ・内容紹介

二次イオン質量分析法(SIMS)は,試料表面にイオンビームを照射し,飛び出した二次イオンの質量を検出して物質を同定し,さらに各物質の試料中での分布をイメージングする手法である.金属や半導体から高分子材料, 生体試料にも適用できる分析法として,多くの研究分野で活用されている.
25年ぶりの大改訂となる本書では,重要性の高い基礎的な内容だけでなく,目的別の応用例を大幅に拡充.これからSIMSを使い始める学生はもちろん,現場の実務者にとっても有用な手引きとなる一冊.

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